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半导体装备

辅助设备

        北方华创可提供的辅助设备包含:热回收系统、有机溶剂回收系统、离子微粒吸附设备、精密恒温恒湿机、pe系列 4/6英寸晶圆倒片机等产品。其中热回收系统、有机溶剂回收系统、离子微粒吸附设备、精密恒温恒湿机应用于平板显示领域,可有效节约客户能耗、提高工艺机台微环境洁净度、保障产线端的温湿度水平;pe系列 4/6英寸晶圆倒片机可为led芯片制造企业的工艺机台提供自动上下片功能,可有效避免人工向工艺机台装载晶圆时出现的掉片、划伤、颗粒沾污等问题,提高led产线产品良率,优化产品品质。
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