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半导体装备 semiconductor

ws-pe100/150

倒片机

ws-pe100/150 倒片机

ws-pe100/150 wafer sorter

ws-pe100/150 倒片机中包含1台6轴机械手组件，设备前端设有6个loadport工位，每3个对应1个腔室。设有2个buffer工位，每个buffer上可以放19片wafer对应1个腔室中的4寸wafer，2个冷却工位分别对应左右2个腔室。

设备特点

晶圆全自动取放
人工替代，良好控制颗粒
高精度、高柔性六轴机械手，更稳定、更可靠
半导体级非接触式伯努利吸盘，吸附均匀，低破率、更安全
稼动率高，有效节约客户成本

产品应用

晶圆尺寸
4、6 英寸
划伤率
≤0.03%
通讯响应时间
＜0.5 秒
装卸响应时间
≤12 秒
适用领域
半导体照明

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