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半导体装备

备品备件

  北方华创可为半导体、泛半导体领域的客户提供适用于4-12英寸不同规格半导体装备的备品备件,这些备品备件可应用于刻蚀机(etch)、物理气相沉积(pvd)、化学气相沉积(cvd)、原子层沉积(ald)、清洗机(wet)、立式/卧式炉管(furnace)等半导体装备。此外,还可为客户提供气体流量控制器(mfc)、尾气处理设备(scrubber)、射频电源(rf generatol)和匹配器(match)等备品备件。
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