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半导体装备

长晶炉设备

        晶体生长工艺是由多晶物质在一定的物理条件或化学条件作用下,由气相、液相形成固相单晶的过程。通过单晶生长设备,在一定的条件下,将多晶物质转变成气相或者液相,再通过调节生长系统的温场和气场条件,使多晶气相或者液相物质在籽晶处沉积结晶,逐步长厚长大,形成单晶。北方华创可提供多种半导体单晶生长炉,产品覆盖多个领域,目前主流产品sic长晶炉,已进入国内多家主流客户,累计装机量超过数千台。
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