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药液供给/回收系统为各研究所、高等院校等提供灵活的客户化定制机台，满足客户需求。

超净工作台是种通用型局部净化设备，可提供局部百级洁净工作环境

氮气存储柜是将高纯氮气充入柜内形成微正压，提供干燥无氧的洁净存储空间

通过集中存储各工艺气体钢瓶，来控制管理各工艺气体气路系统,为工艺设备提供配套

用于对硅片或其他工件表面进行刻蚀或清洗工艺的需求