horis p8571a管式pecvd设备 horis p8571a tube type pecvd -尊龙官方平台

home>products & services>semiconductor>化学气相沉积设备 cvd>horis p8571a管式pecvd设备 horis p8571a tube type pecvd
products& services products & services
semiconductor
horis p8571a管式pecvd设备 horis p8571a tube type pecvd

  在设备同等占地面积下提高单台设备产能,优化工艺效果,一直是晶硅电池片生产线厂商对管式pecvd设备的迫切需求。horis p8571a管式pecvd通过对进气方式、石墨舟、工艺反应腔室的设计,保证工艺性能优异的基础上提高单管的装片量,以及通过提高炉体的快速回温能力、工艺腔室真空抽速能力来压缩工艺时间,同时,提高单台设备的工艺管数量。horis p8571a管式pecvd设备通过上述性能的提升,单台满足160mw以上的产能和工艺需求。

应用领域:

  光伏pv


适用工艺

  淀积sinxsioxsionxalox单层或多层薄膜工艺

网站地图