aps 系列 sic晶体生长系统 aps series sic crystal growth system -尊龙官方平台

  advanced pvt sic system（aps）系列sic晶体生长系统，是实现高质量sic晶体生长、高纯度原料合成、高温晶体热处理的专业设备。针对高质量晶体生长，系统可实现感应线圈超慢速升降和快速移动，超慢速升降可实现晶体近匀速生长；快速线圈移动可实现不同工艺条件下线圈的快速定位。系统还具有可调速的晶体生长旋转装置、灵活的气路配置等功能设计，拓宽了高质量晶体生长的工艺窗口。针对高纯度原料合成，系统采用的工艺腔室设计，为合成sic原料提供了高洁净环境，有效降低了合成原料中n、al等杂质含量。针对高温晶体热处理，可实现气压连续可调的热处理工艺窗口，有效降低了原生sic晶体内残余应力。aps系列sic晶体生长系统可为sic晶体生产企业提供“原料合成—晶体生长—晶体退火”过程的一体化尊龙官方平台的解决方案。