gtc 精密恒温恒湿机 gtc thermal control unit (tcu) -尊龙官方平台

  在平板显示行业和半导体制造行业中，在对面板或者精密器件曝光、显影/涂布等处理过程中，对面板或者器件所处的工艺环境要求非常高，不同的温度和湿度稳定性和均匀性直接影响到加工工艺的良率，因此为面板或者器件提供一个恒定的温湿度环境尤为重要，精密控制温湿度才能达到良好的加工效果，减少因为温度或湿度不均匀带来的缺陷。

  naura gtc精密恒温恒湿机（thermal control unit, 以下简称tcu）可用于平板显示、半导体制造、精密机械加工、精密测量等领域的精确温湿度控制，保证曝光机、显影/涂布设备等制程的优良率。