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gama series

6/8英寸全自动槽式清洗机

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gama series 6/8英寸全自动槽式清洗机
gama series 6/8 inch fully automated batch cleaning system
gama系列6/8英寸全自动槽式清洗机满足全部湿法工艺需求,覆盖rca、pr strip、solvent、wet etch等应用,可用于典型0.35um、0.18um工艺节点,可支持90nm工艺节点,可兼容6寸和8寸晶圆。
设备特点
  • 结构设计紧凑,占地面积小
  • 模块化设计,配置灵活、可扩展
  • 成熟的工艺槽设计,确保工艺稳定性
  • 精确的化学称量系统,实现高质量工艺
产品应用
  • 晶圆尺寸
    6、8 英寸
  • 适用材料
    硅,碳化硅,硅基氮化镓
  • 适用工艺
    预清洗、去胶清洗、氮化硅去除、金属去除(co,ti)、recycle 清洗、抛光后清洗、epi 前清洗、 epi 后清洗
  • 适用领域
    集成电路、衬底材料、化合物半导体、功率半导体
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