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fdp series

单体式复合型pvd镀膜设备

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fdp series 单体式复合型pvd镀膜设备
fdp series batch-type pvd coater
fdp系列产品适用于各类形状和尺寸的工件产品的全覆盖真空镀膜。该设备为单体腔室结构,配有旋转工件架系统,可实现公转、自转和行星旋转等三级旋转,可配置各类离子源、平衡/非平衡磁控阴极、阴极电弧、偏压系统等功能部件,可用于多种功能涂层技术的研发和小批量生产。
设备特点
  • 沉积源工位设计标准化,可通用互换,易实现多种组合
  • 可实现离子预处理、磁控溅射、多弧离子镀等功能
  • 优化的工件架设计,可适用各种类型的工件
技术指标
  • 腔体尺寸
    ø700/800/900/1000/ 1200/1400mm
  • 加热温度
    ≤600℃
  • 装载量
    40-50片(按500*180mm以内规格)
  • 单炉时间
    90-120min
  • 年产能
    氢能双极板≥12万片
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