elede® 380f刻蚀机是应用于led衬底刻蚀工艺的等离子体干法刻蚀机，配置单/双反应腔、托盘式、多片tray in tray out全自动作业。设备适用于mini led、micro led多种衬底刻蚀，覆盖pss、npss、cpss刻蚀工艺。
