theoris a302c立式退火炉在中低温条件下，通入n₂、h₂或d₂等气体，消除硅片界面处金属及非金属晶格缺陷和晶格损伤，优化硅片界面质量，提升器件良率。该退火设备提供高精度的温度控制算法、严格的金属控制指标、稳定的传输控制系统以及安全的特气处理装置等尊龙官方平台的解决方案，兼顾了工艺目标的实现与生产可靠性的保障。
