booster swa主要用于12英寸后段金属互联退火工艺。该机台为多腔集群设备，能够进行全自动并行工艺处理。系统主要由传输模块和3个工艺模块组成，其中工艺模块主要用于post etch和post cu cmp退火工艺，通过去除low-k材料吸附的水汽以恢复k值，传输模块用于将晶圆安全而准确地送达到指定工位。
