nmc508dte 8英寸硅深槽刻蚀机 nmc508dte 8 inch si trench etcher -尊龙官方平台

nmc508dte设备是针对硅功率器件开发的专用刻蚀设备，主要用于8英寸及以下igbt、mosfet及super junction中的deep trench刻蚀。不同于mems工艺的深硅刻蚀，nmc508dte设备针对的是单步平滑刻蚀工艺，保证功率器件的电压性能。