bpure系列 石英舟/管清洗机 bpure series quartz boat/tube cleaning tool -尊龙官方平台

  为了保证工艺纯度，处理过一定数量的晶圆后，石英管、石英舟必须从炉中取出并进行清洗。石英管、石英舟及相关parts本身非常脆弱，它们的清洗必须根据特定工艺的要求进行定制。

  bpure系列石英舟（管）清洗机，广泛应用于集成电路、封装、光伏等领域。采用浸泡式处理工艺，主要用于12英寸及以下尺寸的扩散、外延等设备的石英管/舟、碳化硅管的清洗。此外，也可以用于清洗其它石英材质的零部件，如石英板、点火炮、保温桶等。