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bpure系列 石英舟/管清洗机 bpure series quartz boat/tube cleaning tool
  为了保证工艺纯度,处理过一定数量的晶圆后,石英管、石英舟必须从炉中取出并进行清洗。石英管、石英舟及相关parts本身非常脆弱,它们的清洗必须根据特定工艺的要求进行定制。

  bpure系列石英舟(管)清洗机,广泛应用于集成电路、封装、光伏等领域。采用浸泡式处理工艺,主要用于12英寸及以下尺寸的扩散、外延等设备的石英管/舟、碳化硅管的清洗。此外,也可以用于清洗其它石英材质的零部件,如石英板、点火炮、保温桶等。

应用领域:

  集成电路、先进封装、光伏


适用工艺:

  石英舟/管、石英板、点火炮、保温桶等零部件清洗


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