elede® 380e pss刻蚀机 elede® 380e pss etcher -尊龙官方平台

  图形化蓝宝石衬底（pss）是led制备中的一项关键技术，通过增加led的内量子效率和提高光提取效率，可以将光效有效提高30~50%，是提升芯片亮度的有效、直接方法，也是大功率高亮度led的选择。随着aln技术的引入和芯片价格的持续下滑，pss衬底向更大的尺寸（1.8μm*2.8μm甚至更大）、更好的均匀性（片内＜3%，片间＜3%，批间＜3%）、更高的产能（单台月产能>7000片）、更低的生产成本（耗材成本、黄光成本）等方向发展，传统干法刻蚀设备由于选择比的局限性，已不能满足要求，led市场亟待新一代的高性能干法刻蚀设备，更好的满足led pss衬底制程的发展需求。