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elede® 380g /g380c刻蚀机 elede® 380g /g380c etcher
  elede 380系列刻蚀机是led芯片制作的关键设备, 可以用于正装芯片,倒装芯片,垂直芯片这三种芯片中的电极刻蚀(刻蚀材料gan, algainp/gap),隔离刻蚀(刻蚀材料gan, gaas),钝化层刻蚀(刻蚀材料sio2, sinx,介质反射层刻蚀(刻蚀材料sio2 tio2),金属阻挡层刻蚀(刻蚀材料tiw)。良好的刻蚀均匀性对芯片的亮度和良率至关重要,elede 380系列产品结合线圈设计、下电极设计和托盘设计,实现良好的工艺均匀性控制,满足不同产品制程中的多种刻蚀材料工艺应用,elede 380系列刻蚀机是led领域标杆产品。

应用领域:

  半导体照明


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